Développement d'une Source Plasma en aide au Dépôt de Couche Mince à Pression Atmosphérique
1 : Groupe de recherches sur l\'énergétique des milieux ionisés
(GREMI)
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Site web
Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7344, Université d'Orléans : UMR7344
14 Rue dÍssoudun - BP 6744 45067 ORLEANS CEDEX 2 -
France
2 : Laboratoire des matériaux et du génie physique
(LMGP)
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Site web
* : Auteur correspondant
Institut National Polytechnique de Grenoble, Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5628, Institut Polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology
Grenoble INP Minatec - 3 parvis Louis Néel - CS 50257- 38016 Grenoble Cedex 1 -
France